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ワークサイズ
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100[mm]角 t1.0[mm]
|
|
計測ポイント
|
9箇所
|
|
洗浄装置
|
PS150
|
|
洗浄時間[sec]
|
300
|
|
接触角計
|
B100
|
|
着液量
|
0.5[μL]
|
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
|
プラズマ電圧
|
107.4[V]
|
|
真空圧力
|
198 [Pa]
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前洗浄
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エタノール拭き
|
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
|
平均接触角[°]
|
99.50
|
29.42
|
25.40
|
23.98
|
21.19
|
23.73
|
21.11
|
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t5.0[mm]
|
|
計測ポイント
|
9箇所
|
|
洗浄装置
|
PS150
|
|
洗浄時間
|
300
|
|
接触角計
|
B100
|
|
着液量
|
0.5[μL]
|
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
|
プラズマ電圧
|
105.7[V]
|
|
真空圧力
|
213[Pa]
|
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
|
平均接触角[°]
|
62.89
|
32.17
|
28.88
|
28.66
|
28.68
|
29.60
|
32.09
|
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t5.0[mm]
|
|
計測ポイント
|
9箇所
|
|
洗浄装置
|
PS150
|
|
洗浄時間[sec]
|
300
|
|
接触角計
|
B100
|
|
着液量
|
0.5[μL]
|
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
|
プラズマ電圧
|
106.4[V]
|
|
真空圧力
|
182[Pa]
|
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
|
平均接触角[°]
|
45.96
|
8.87
|
6.53
|
5.60
|
5.65
|
4.30
|
3.58
|
