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ワークサイズ
|
110[mm]角 t1.0[mm]
|
|
計測ポイント
|
9箇所
|
|
洗浄装置
|
PS150
|
|
洗浄時間[sec]
|
300
|
|
接触角計
|
B100
|
|
着液量
|
0.5[μL]
|
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
|
プラズマ電圧
|
105.3[V]
|
|
真空圧力
|
210[Pa]
|
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
|
平均接触角[°]
|
69.06
|
32.32
|
19.75
|
16.56
|
14.32
|
15.15
|
13.21
|
|
ワークサイズ
|
60[mm]角 t1.0[mm]
|
|
計測ポイント
|
9箇所
|
|
洗浄装置
|
PS150
|
|
洗浄時間
|
300[sec]
|
|
接触角計
|
B100
|
|
着液量
|
0.5[μL]
|
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
|
プラズマ電圧
|
106.4[V]
|
|
真空圧力
|
193[Pa]
|
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
|
平均接触角[°]
|
82.00
|
62.09
|
50.25
|
41.84
|
36.82
|
26.97
|
24.13
|
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t0.5[mm]
|
|
計測ポイント
|
9箇所
|
|
洗浄装置
|
PS150
|
|
洗浄時間
|
300[sec]
|
|
接触角計
|
B100
|
|
着液量
|
0.5[μL]
|
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
|
プラズマ電圧
|
106.4[V]
|
|
真空圧力
|
194[Pa]
|
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
|
平均接触角[°]
|
91.96
|
32.49
|
11.41
|
4.26
|
4.16
|
4.23
|
3.92
|
|
ワークサイズ
|
30[mm]角 t5.0[mm]
|
|
計測ポイント
|
9箇所
|
|
洗浄装置
|
PS150
|
|
洗浄時間
|
300[sec]
|
|
接触角計
|
B100
|
|
着液量
|
0.5[μL]
|
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
|
プラズマ電圧
|
106.2[V]
|
|
真空圧力
|
194[Pa]
|
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
|
平均接触角[°]
|
93.73
|
34.09
|
24.80
|
18.10
|
14.82
|
13.00
|
11.49
|
