プラズマ洗浄 表面改質データ(樹脂系)

◆ABS


ワークサイズ 100[mm]角 t5.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間[sec] 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 105.4[V]
真空圧力 211[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 82.62 33.58 26.39 24.72 22.82 22.89 20.49

      照射前            照射後


◆MCナイロン


ワークサイズ 100[mm]角 t5.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 106.2[V]
真空圧力 208[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 72.88 49.56 44.21 39.21 33.67 30.56 29.49

      照射前            照射後


◆PBT


ワークサイズ 100[mm]角 t10.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間[sec] 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 105.4[V]
真空圧力 208[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 53.84 31.78 28.04 27.44 26.25 24.90 24.85

      照射前            照射後


◆PET


ワークサイズ 100[mm]角 t5.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間[sec] 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 107.0[V]
真空圧力 189[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 84.16 28.74 26.63 24.61 23.56 26.16 26.20

      照射前            照射後


◆PMMA(アクリル)


ワークサイズ 100[mm]角 t5.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間[sec] 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 106.7[V]
真空圧力 195[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 64.42 43.01 39.93 38.43 38.62 37.33 35.49

      照射前            照射後


◆COP  (シクロオレフィンポリマー)


ワークサイズ W145×D70[mm] t3.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間[sec] 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 105.8[V]
真空圧力 206[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 89.84 31.98 27.71 23.47 25.35 23.60 23.41

      照射前            照射後


◆PTFE(フッ素樹脂)


ワークサイズ 100[mm]角 t1.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間[sec] 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 106.4[V]
真空圧力 193[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 97.40 85.57 88.41 88.07 90.95 93.51 88.85

      照射前            照射後


◆ベークライト


ワークサイズ 100[mm]角 t2.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間[sec] 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 106.4[V]
真空圧力 203[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 55.87 27.84 21.28 17.18 17.81 17.49 16.61

      照射前            照射後


◆PC  (ポリカーボネード)


ワークサイズ 100[mm]角 t5.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間[sec] 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 106.2[V]
真空圧力 193[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 84.30 40.34 35.16 32.89 33.21 36.50 37.87

      照射前            照射後


◆PS(ポリスチレン)


ワークサイズ 100[mm]角 t5.0[mm]
計測ポイント 9箇所
洗浄装置 PS150
洗浄時間[sec] 300[sec]
接触角計 B100
着液量 0.5[μL]
着液後計測時間 2[sec]
プラズマ電圧 106.5[V]
真空圧力 189[Pa]
前洗浄 エタノール拭き
累計洗浄時間[sec] 0 30 60 90 120 180 300
平均接触角[°] 84.16 28.74 26.63 24.61 23.56 26.16 26.20

      照射前            照射後