ワークサイズ
|
100[mm]角 t5.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間[sec]
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
105.4[V]
|
真空圧力
|
211[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
82.62
|
33.58
|
26.39
|
24.72
|
22.82
|
22.89
|
20.49
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t5.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
106.2[V]
|
真空圧力
|
208[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
72.88
|
49.56
|
44.21
|
39.21
|
33.67
|
30.56
|
29.49
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t10.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間[sec]
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
105.4[V]
|
真空圧力
|
208[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
53.84
|
31.78
|
28.04
|
27.44
|
26.25
|
24.90
|
24.85
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t5.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間[sec]
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
107.0[V]
|
真空圧力
|
189[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
84.16
|
28.74
|
26.63
|
24.61
|
23.56
|
26.16
|
26.20
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t5.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間[sec]
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
106.7[V]
|
真空圧力
|
195[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
64.42
|
43.01
|
39.93
|
38.43
|
38.62
|
37.33
|
35.49
|
ワークサイズ
|
W145×D70[mm] t3.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間[sec]
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
105.8[V]
|
真空圧力
|
206[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
89.84
|
31.98
|
27.71
|
23.47
|
25.35
|
23.60
|
23.41
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t1.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間[sec]
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
106.4[V]
|
真空圧力
|
193[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
97.40
|
85.57
|
88.41
|
88.07
|
90.95
|
93.51
|
88.85
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t2.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間[sec]
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
106.4[V]
|
真空圧力
|
203[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
55.87
|
27.84
|
21.28
|
17.18
|
17.81
|
17.49
|
16.61
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t5.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間[sec]
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
106.2[V]
|
真空圧力
|
193[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
84.30
|
40.34
|
35.16
|
32.89
|
33.21
|
36.50
|
37.87
|
ワークサイズ
|
100[mm]角 t5.0[mm]
|
計測ポイント
|
9箇所
|
洗浄装置
|
PS150
|
洗浄時間[sec]
|
300[sec]
|
接触角計
|
B100
|
着液量
|
0.5[μL]
|
着液後計測時間
|
2[sec]
|
プラズマ電圧
|
106.5[V]
|
真空圧力
|
189[Pa]
|
前洗浄
|
エタノール拭き
|
累計洗浄時間[sec]
|
0
|
30
|
60
|
90
|
120
|
180
|
300
|
平均接触角[°]
|
84.16
|
28.74
|
26.63
|
24.61
|
23.56
|
26.16
|
26.20
|